Высоковакуумный насос

В отличие от большинства вакуумных установок, высоковакуумный насос разряжает атмосферу на 15 и более порядков, что равняется 103-10-12 мбар, например, высоковакуумные паромасляные насосы. Необходимость высокого давления возникла благодаря наличию растворенных и адсорбированных газов на стенках вакуумной камеры. На данный момент существует 5 методов удаления газа и воздуха в зависимости от типа вакуумного насоса:

1. Удаление атмосферы за счет возвратно-поступательного движения, вращения шестерен, лопастей, кулачков, а также различных спиральных камер.
2. Вытеснение газа либо импульсная передача, например, турбинный или роторный насосы, а также под действием высокоскоростных движений жидкости и пара (эжектор).
3. Изменение количества газа посредством воздействия химических реакций, с последующим образованием твердых продуктов.
4. Образовывать вакуум методом охлаждения температуры газа, переходящего в твердую либо адсорбированную фазу за счет пористой поверхности контактного материала.
5. Удаление воздуха/газа путем воздействия напряжения и электромагнитных полей, проводящих ионизацию последнего.

Агрегаты на высоком вакууме предназначаются для напыления, отжига, плавки, а также задействованы в области ядерной энергетики. Значительным спросом пользуются на промышленном производстве, в частности, машиностроении, лабораторных и физических отраслях. Различаются по мощности, типовой конструкции и габаритам.

Высоковакуумные паромасляные насосы

Данные модели создаются для поддержания уровня вакуума технологических систем. Рабочей жидкостью моделей служит специальное масло, кремнийорганическая жидкость, которые циркулируют в насосе. Используются в комбинации с моделями, работающими на принципе противоатмосферного давления. Высоковакуумные паромасляные насосы имеют водяное охлаждение и отличаются высокой надежностью конструкции. Внедрение новых, технологических и конструкторских решений, значительно уменьшило капитальные затраты и увеличило эксплуатационные характеристики агрегатов.

Вакуумные диффузионные паромаслянные устройства состоят из:

• агрегата (насос);
• вакуумного затвора;
• азотной ловушки;
• рамы/плиты;
• термореле.

Используется в паре с форвакуумным экземпляром, откачивающим газы из выходного патрубка. Чтобы пары рабочей жидкости не проникали в откачиваемую среду, предусмотрена ловушка с охлажденным жидким азотом. Представленный тип насосов эффективен в области среднего и высокого вакуума порядка 10-2 мм.

Высоковакуумные турбомолекулярные насосы

Родоначальником в сфере турбонасосов стала немецкая компания Preiffer Vacuum, одна из первых выпустившая подобный агрегат. На данный момент высоковакуумный турбомолекулярный насос применяется в различных областях, охватывая широкий спектр направлений, среди которых:

• ядерная физика;
• микроэлектроника;
• промышленность;
• ионная имплантация;
• плазменное травление;
• тонкопленочные технологии;
• исследования и аналитика.

Новейшие модели турбонасосов способны вырабатывать высокий и сверхвысокий порог вакуума. Исполнение установки базируется на 2 типах подшипников: керамические шариковые (механика) и магнитные подвесы. Роторные образцы демонстрируют высокую пропускную способность при низком показателе остаточного давления. К достоинствам таких турбонасосов относят долговечность и полноценное функционирование в жестких условиях.

Важно! Вакуумные турбомолекулярные насосы не способны самостоятельно откачивать газы, поэтому работа возможна лишь в дуэте с форвакуумным экземпляром.

Сегодня приобрести подобный агрегат несложно. Представлен значительный выбор различных образцов со скоростью откачки 7,5-2800 л/сек. Можно приобрести модели с активной системой баланса роторов: такие насосы не требуют обслуживания, ввиду отсутствия шариковых подшипников в конструкции. Принцип действия такой системы заключается в автоматической компенсации расположения лопастей в пространстве, в случае их разбалансировки. Данная система позволит устройству эффективно функционировать даже при наличии загрязнения, исключая вибрации и постепенное разрушение конструкции.

Высоковакуумные диффузионные насосы

Являются одним из наиболее доступных средств в качестве получения высокого вакуума. Пользуются спросом в лабораторной и промышленной сферах. С помощью подобного агрегата удается достичь сверхвысоких показателей в вакуумных технологических системах. Данные изделия предназначены для работы на высоких скоростях, интенсивности, а также способны функционировать в сложных условиях, благодаря значительной устойчивости к внешней среде. Легко переносят:

• скачки напряжения;
• вибрационное воздействие;
• наличие инородных предметов внутри;
• прорывы атмосферы.

Широко применяются для нанесения тонкопленочного покрытия, в работе систем осушения, металлургических печах, лабораторных насосных станциях и других промышленных комплексах. Материалом для производства служит нержавеющая сталь. Конструкция проста в применении и надежна. Впускное отверстие насоса снабжено фланцем переходного типа ISO-KF и маслоотражателем, способствующим конденсации рабочих жидкостей и обратному возврату в насос. На некоторых моделях устанавливается датчик температуры масла. За нагрев масляной жидкости отвечает трехсекционный нагреватель, позволяющий быстро достичь нужной температуры.

Для особо крупных работ предусмотрен высоковакуумный паромасляный диффузионный насос н 400 7000, созданный откачивать газы, парогазовые смеси, пары, предварительно очищенные от остатков капельной влаги, а также различных механических загрязнений. Характеристики модели:

• мощность — 4000 Вт;
• количество рабочей жидкости — 1,4 л;
• скорость откачки — 5600 л/сек;
• ДУ входного фланца — 400 мм;
• максимальное давление — 6,60Е-05;
• полная масса изделия — 80 кг.

Насос изготовляется в полном соответствии с международными нормами эксплуатации и способен работать при температурном режиме воды от 10 до 20 С°. Годен для работ по климатическому показателю УХЛ (умеренный и холодный климат) от +40 до -60 С°.